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reactive sputtering

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  • reactive sputtering — reaktyvusis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive sputtering vok. reaktive Zerstäubung, f rus. реактивное распыление, n pranc. atomisation réactive, f; évaporation réactive, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Sputtering — is a process whereby atoms are ejected from a solid target material due to bombardment of the target by energetic ions. It is commonly used for thin film deposition, etching and analytical techniques (see below). Physics of sputtering Physical… …   Wikipedia

  • Sputtering — Pulvérisation cathodique La pulvérisation cathodique est une méthode de dépôt de couche mince. Sommaire 1 Principe 1.1 Synthèse de films céramiques 1.2 Instabilité électrique …   Wikipédia en Français

  • Reactive-ion etching — Gravure ionique réactive La gravure ionique réactive ou gravure par ions réactifs très souvent appelée par son acronyme anglophone, RIE (pour Reactive Ion Etching), est une technique de gravure sèche des semi conducteurs. Il s agit d une… …   Wikipédia en Français

  • Reactive Ion Etching — Gravure ionique réactive La gravure ionique réactive ou gravure par ions réactifs très souvent appelée par son acronyme anglophone, RIE (pour Reactive Ion Etching), est une technique de gravure sèche des semi conducteurs. Il s agit d une… …   Wikipédia en Français

  • reactive ion sputtering — reaktyvusis joninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion sputtering vok. reaktives Sputtern, n rus. реактивное ионное распыление, n pranc. pulvérisation ionique réactive, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • atomisation réactive — reaktyvusis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive sputtering vok. reaktive Zerstäubung, f rus. реактивное распыление, n pranc. atomisation réactive, f; évaporation réactive, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • évaporation réactive — reaktyvusis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive sputtering vok. reaktive Zerstäubung, f rus. реактивное распыление, n pranc. atomisation réactive, f; évaporation réactive, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Pulvérisation cathodique (sputtering) — Pulvérisation cathodique La pulvérisation cathodique est une méthode de dépôt de couche mince. Sommaire 1 Principe 1.1 Synthèse de films céramiques 1.2 Instabilité électrique …   Wikipédia en Français

  • Gravure Ionique Réactive — La gravure ionique réactive ou gravure par ions réactifs très souvent appelée par son acronyme anglophone, RIE (pour Reactive Ion Etching), est une technique de gravure sèche des semi conducteurs. Il s agit d une technique similaire, dans la mise …   Wikipédia en Français

  • Gravure ionique reactive — Gravure ionique réactive La gravure ionique réactive ou gravure par ions réactifs très souvent appelée par son acronyme anglophone, RIE (pour Reactive Ion Etching), est une technique de gravure sèche des semi conducteurs. Il s agit d une… …   Wikipédia en Français

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